기기예약
기기검색 및 예약신청
기기예약
예약가능
| 제조회사 | WEP | 구입년도 | |
|---|---|---|---|
| 모델명 | WAFER PROFILER CVP21 | ||
| 지원기관 | 에너지-반도체 연구센터 | ||
| 교육이수여부 | 필수 | ||
| 장비위치 | 창의관 620호 | ||
| 장비분류 | 장비교육필요 |
|---|---|
| 용도 | wafer doping concentration 측정가능 |
| 규격 | 2inch 이상, 8inch 이하 샘플 측정가능 |
| 유의사항/비고 | ECV-Profiling, CV-Profiling 측정할 수 있음, 도핑농도가 10^13이상, 10^21이하 샘플 측정가능 |
| 담당자 | 태** (audtjq03@korea.ac.kr) |
| 연속사용시간 | 24 시간 | 예약가능기간 |
교내소속 : 당일 0 일 전부터 30 일 전까지
교내타소속 : 당일 0 일 전부터 30 일 전까지 교외 : 당일 7 일 전부터 30 일 전까지 |
|---|---|---|---|
| 예약취소가능기한 |
교내소속 : 0 일전 까지
교내타소속 : 0 일전 까지 교외 : 7 일전 까지 |
예약가능시간 |
교내소속 : 00시 00분 ~ 23시 50분
교내타소속 : 00시 00분 ~ 23시 50분 교외 : 09시 00분 ~ 18시 00분 |
| 점심시간 | 없음 | 사전작업필요여부 | 필요 |