고려대학교 공동기기원

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상세정보
장비분류	NT/IT 장비
용도
규격	물리기상증착(PVD) -Thermal Evaporation System(열 박막 증착 장비) 150cm x 150cm x 300cm
유의사항/비고	▶ KU-KIST 융합대학원 내부 사용자만 사용가능 합니다 ◀ ▶ 장비교육 및 유저자격 획득 후 사용가능합니다 ◀ ▶ 의뢰사용 불가합니다 (현재 장비수요 포화상태) ◀ # A-Meter 180 이상 (Limit A-meter) 에서 증착되는 물질군, 증착 불가합니다. 1. 텅스텐(W) 보트 제공됩니다 (1 cm x 5 cm) 2. Noble metal 류 (Au, Pd, Pt 등) 및 희귀 재료는 source 제공되지 않습니다. 3. 관리자와 논의되지 않은 일체의 모든 물질군 (통상 금속류 외, 챔버에 오염을 유발할 수 있는 물질 군) 증착 불가합니다. 비 귀금속은 R&D 센터에 보유시 제공가능 합니다. ############문의 시 메일로 연락바랍니다. (ikkyo1005@korea.ac.kr)##########
담당자	최익교 (01075327331)

이용정보
연속사용시간	24 시간	예약가능기간	교내소속 : 당일 0 일 전부터 30 일 전까지 교내타소속 : 당일 0 일 전부터 30 일 전까지 교외 : 당일 0 일 전부터 30 일 전까지
예약취소가능기한	교내소속 : 1 일전 까지 교내타소속 : 1 일전 까지 교외 : 1 일전 까지	예약가능시간	교내소속 : 수시 교내타소속 : 00시 00분 ~ 00시 00분 교외 : 09시 00분 ~ 18시 00분
점심시간	00시 00분 ~ 00시 00분	사전작업필요여부	필요없음

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