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서울캠퍼스DC/RF 스퍼터링 시스템 DC/RF Sputtering System
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제조회사 Korea Vacuum tech 구입년도 2016 모델명 DC/RF Sputtering system KVS-2004 지원기관 K2융합공동기기센터 교육이수여부 필수아님 장비위치 KU-R&D센터 406호
상세정보 장비분류 NT/IT 장비 용도 Metal/Oxide Deposition 규격 System Size
- System dimension : 1750mm(W) x 1150mm(D) x 1700mm(H)
- Chamber dimension : 560(Φ) x 720mm(H)
DC Power
- MODEL NAME: SDC1022A
- 최대 출력 / Maximum power : 1.0KW(단 500 V, 2 A Z= 250Ω 저항 부하) / (with 500 V, 2 A, Z = 250Ω resistive load)
- 최대 출력 전압 / Maximum voltage : 무 부하 시, -1000 V± 2 V / -1000 V± 2 V at no load
- 최대 출력 전류 / Maximum current : -2 A, (0A～105% 반 고정 V.R로 가변 가능 / (adjustable from 0A to 105% using semi-fixed V.R)
- SHORT C: -2 A
- SWITCH MODE D.C POWER SUPPLY
RF power
- MODEL NAME: YSR-03/06MF
- 출력 주파수 / Output frequency: 13.56MHz
- RF 출력 임피던스 / RF output impedance: 50 Ohm nominal
- RF Power Range : 10-600W
Pump
- Port: 8”CFF(M.V) , NW40(F.V , R.V)
- Rotary: 500 l/min Cryo: 1100 l/sec (N2)
- Process
- RPM: 30
- Semi Auto Process System using Sputter Gun
- High Vacuum Gauge(Ion-Gauge),
- Low Vacuum Gauge(Convection)
Usage
- Physical Vapor Deposition using Sputter Gun
Utility
- Water: 1/2” SUS Tube / CDA: 6mm one-touch / Vent : 1/4” Lok
- 배기 (Exhaust) : NW40
타겟 규격 (Target Preparation)
- 직경 3인치로, 자성체(Fe, Ni, Cr 등)는 두께 2mm, 귀금속(Au, Pt)은 1~2mm로 하여, 뒷면에 copper backing plate와 metal bonding을 통해 전체 두께를 1/4"(6.35mm)에 맞춰주세요. 일반 Metal target은 두께 1/4"로, Non-metal target은 1/4" 두께에 1/8" copper backing plate를 bonding하여 전체 두께를 3/8"(9.5mm)로 준비해 주시면 됩니다.
- Please prepare the target with a 3-inch diameter. For magnetic materials (Fe, Ni, Cr, etc.), the thickness should be 2mm, and for precious metals (Au, Pt), 1-2mm. Bond the back with a copper backing plate and metal bonding to achieve a total thickness of 1/4" (6.35mm). For general metal targets, use a thickness of 1/4". For non-metal targets, bond a 1/8" copper backing plate to a 1/4" thick target to achieve a total thickness of 3/8" (9.5mm).유의사항/비고 - 모든 문의는 메일(sglee2135@korea.ac.kr)로 연락 (개인 전화번호는 긴급 사항 외 연락 자제)
연락 시 본인 및 소속된 그룹(연구실) 정보 표기
- All inquiries should be made via email (personal phone calls should be avoided except in emergencies).
When contacting, please include your name and the group (laboratory) you belong to.
- KU-KIST 융합대학원 공동기기센터 홈페이지(https://crf.korea.ac.kr/)에서 예약
- Reservations can be made on the website of the Joint Equipment Center at the KU-KIST Graduate School of Converging Science and Technology (https://crf.korea.ac.kr/).
- 의뢰 시, 장비 담당자에게 연락
- For deposition requests, contact the equipment manager.
- 1회 사용 시 평균 2-3시간 소요 / 타겟 제공 불가 / 의뢰 시, 담당자에게 문의 후 스케줄 조정 / 의뢰 공정 비용 : 30,000원/60분
-Each use takes an average of 2-3 hours. Target materials cannot be provided. Please bring or send your target.
Please consult with the manager for deposition requests and adjust the schedule accordingly. Deposition cost: 30,000KRW per 60 min.
- 직접 사용 시, 반드시 장비 관리자에게 유저 자격을 받고 사용
- If you use the equipment directly, the equipment manager must certify you as a user.
- Vacuum prccess에 별도의 Interlock이 없어 사용 시 주의
- There is no separate Interlock for the vacuum process, so please exercise caution when using it.
- KU-KIST 대학원 구성원 외 인원의 경우 장비 사용 시간 내 예약
- For non-KU-KIST Graduate School members, equipment usage is limited to reservations during equipment usage hours.
- 의뢰는 소속(또는 소속 그룹)당 월 1-2회로 제한
- Deposition requests are limited to 1-2 times per month per affiliation (or affiliated group).
- 직접 사용 시, 모든 타겟은 개인 지참 후 테스트 및 사용 가능, 실험실 내 임의 타겟 사용 시 영구 사용 불가
- When using the equipment directly, all targets must be personally provided. Testing and use are allowed, but any unauthorized targets from the laboratory may not be used permanently.
- 위 주의 사항을 어길 시, 1회: 1개월 사용 불가, 2회: 소속 그룹 전체 영구 사용 불가
- Violations of the above rules will result in the following penalties:
1st violation: 1-month suspension of use, 2nd violation: permanent suspension for the entire affiliated group.담당자 이승관 (010-8164-1530) 이용정보 연속사용시간 3 시간 예약가능기간 교내소속 : 당일 0 일 전부터 30 일 전까지
교내타소속 : 당일 0 일 전부터 7 일 전까지
교외 : 당일 0 일 전부터 1 일 전까지예약취소가능기한 교내소속 : 0 일전 까지
교내타소속 : 0 일전 까지
교외 : 0 일전 까지예약가능시간 교내소속 : 수시
교내타소속 : 수시
교외 : 수시점심시간 없음 사전작업필요여부 필요없음 -