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서울캠퍼스Alpha-Step Alpha-Step(Surface Profiler)
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제조회사 Tencor Instruments 구입년도 1998 모델명 Alpha-step 500 Surface Profiler 지원기관 공과대학공동실험실 교육이수여부 필수아님 장비위치 서울캠퍼스 공학관 지하1층 B104
상세정보 장비분류 일반기기 용도 연구용 규격 ① 모 델 : Alpha-step 500 Surface Profiler
② 제작사 : Tencor Instruments
③ Resolution
ⅰ) ~ 10㎜ Line Scan 가능
ⅱ) 박막의 두께는 수백 Å 이상
④ Sample size : 시료의 크기는 무관함유의사항/비고 * 유저 자격이 없는 분은 오퍼레이터에게 문의한 후 예약하시기 바랍니다.
1. 원리
금속, 반도체, 세라믹, 고분자 등 다양한 재료의 표면 단차를 측정하는 장비이다. 탐침을 이용하여 표면을 일정 길이만큼 scan하고 탐침의 움직임을 detection하여 거리에 따른 표면의 높낮이를 graph 형태로 나타내며, 얻어진 data의 두 지점을 정하여 높이차를 얻을 수 있다.담당자 박현지 (010-6629-5436) 이용정보 연속사용시간 5 시간 예약가능기간 교내소속 : 당일 0 일 전부터 21 일 전까지
교내타소속 : 당일 0 일 전부터 15 일 전까지
교외 : 당일 0 일 전부터 15 일 전까지예약취소가능기한 교내소속 : 1 일전 까지
교내타소속 : 1 일전 까지
교외 : 1 일전 까지예약가능시간 교내소속 : 00시 00분 ~ 23시 50분
교내타소속 : 09시 00분 ~ 17시 00분
교외 : 09시 00분 ~ 17시 00분점심시간 12시 00분 ~ 13시 00분 사전작업필요여부 필요없음 -