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전계방사형주사전자현미경 FE-SEMⅠ EDS 이용 방법 안내드립니다.

1. 사용 가능자

FE-SEMⅠ 의 EDS기능은 직접사용자를 대상으로 한 보건의료과학기기센터 주관 EDS교육을 이수하고 자격을 취득한 사용자만이 사용 가능합니다.

따라서, 사용자격을 보유한 사용자 외에 사용할 경우 보건의료과학기기센터 장비 운영 지침에 따라 FE-SEMⅠ의 사용자격 취소 및 기기센터의 출입이 제한될 수 있습니다.

2. 자격 취득방법

사용자격의 취득은 보건의료과학기기센터 주관의 정기교육을 통해 취득할 수 있습니다.

정기교육은 고려대학교 공동기기원 홈페이지(crf.korea.ac.kr)에서 신청 가능하니 자격을 취득하고자 하시는 경우 확인하시어 신청 바랍니다.

3. 사용 후 복구

EDS 는 사용 후 아래와 같이 일반 SEM 사용자들을 위한 복구 과정을 진행하시기 바랍니다.

• FE-SEMⅠEDS 프로그램에서 좌측 상단의 Options > Detector Control > Slide > Move Out을 클릭하여 Detector와 기기 분리 

• FE-SEMⅠ기기 측면에 붙어있는 수동 구축 조절기(Z축 조절기) 8.0mm로 복구(빔과의 충돌 방지를 위해 반드시 Detector를 분리한 뒤 수행)

• FE-SEMⅠ우측 컴퓨터를 Log off후 EDS용 계정에서 Oxford(일반)계정으로 복구

• FE-SEMⅠ분석 프로그램 내에서 조작 시 사용했던 설정(초점, STIG, 전압 등)을 모두 초기화한 뒤 빈 화면(GUN VALVE가 닫힌 상태)에서 Freeze버튼을 눌러 마무리

안내드린 사항을 통해 기기부정사용 및 조작미숙으로 인한 고장에 유의하시어 사용 바랍니다.

● 문의: 보건의료과학기기센터 이시유 (5618, alicialee@korea.ac.kr),  윤주안 (5618, crfassistant@gmail.com)