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공지사항

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클린룸/엘로우룸 바닦 보수 공사로 인해 클린룸내 소음 및 먼지가 일부 발생 됩니다.

클림룸/엘로우룸내 기기는 정상 운용하나 공사로 인해 불편함이 발생할 수 있습니다.

이점 감안하여 기기 예 및 사용 하시기 바랍니다.

 

보수 일정: 2025.05.21(수) 09:30~17:30

대상 기기: ICP-RIE, RIE, Mask ALigner

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